光刻機(jī)龍頭股上市公司：

　　芯源微（688037）：龍頭。公司2020年的凈利潤(rùn)4883萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)66.79%。

　　作為與光刻機(jī)配合進(jìn)行作業(yè)的關(guān)鍵處理設(shè)備，公司生產(chǎn)的涂膠/顯影機(jī)成功打破國(guó)外廠商壟斷并填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)，作為國(guó)內(nèi)廠商主流機(jī)型已成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代；通過(guò)多年的技術(shù)研發(fā)、實(shí)踐應(yīng)用積累以及持續(xù)承擔(dān)國(guó)家02重大專(zhuān)項(xiàng)，公司成功突破了應(yīng)用于集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)的涂膠顯影設(shè)備技術(shù)，成型產(chǎn)品目前正在長(zhǎng)江存儲(chǔ)、上海華力等前道芯片制造廠商進(jìn)行工藝驗(yàn)證。

　　清溢光電（688138）：龍頭。2020年凈利潤(rùn)7629萬(wàn)，同比增長(zhǎng)8.55%。

　　華特氣體（688268）：龍頭。2020年凈利潤(rùn)1.07億，同比增長(zhǎng)46.67%。

　　公司研發(fā)出的20種進(jìn)口替代產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)規(guī)�；�生產(chǎn)。特氣體也通過(guò)了全球最大光刻機(jī)供應(yīng)商ASML公司的產(chǎn)品認(rèn)證，并為中芯國(guó)際、華虹宏力等一線企業(yè)供貨。

　　光刻機(jī)概念其他的還有： 金龍機(jī)電、南大光電、新萊應(yīng)材、容大感光、奧普光電、上海新陽(yáng)、福晶科技、晶瑞電材、廣信材料、賽微電子、藍(lán)英裝備、江化微、同益股份、ST澄星、勝利精密、飛凱材料、晶方科技、永太科技、強(qiáng)力新材等。

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